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基于NEMS技术的硅基纳机电探针阵列器件研究

chenwenkuipc 添加于 2012-2-8 15:41 | 1139 次阅读 | 0 个评论

作者
杨尊先, ĺ
摘要
进行一种用于高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研究。并采用理论计算和有限元模拟相结合方法对器件进行了设计;使用先进的微纳加工工艺技术将压阻敏感器和电阻加热器集成到超薄悬臂梁—针尖结构纳机电探针阵列器件上,实现器件制作;随后,进行器件电热特性及其敏感特性测试,测试结果与模拟结果相吻合;借助于原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入,优化写入条件后,数据记录面密度达31.6 GB/in2。
详细资料
- 文献种类: Journal Article
- 期刊名称: 传感技术学报
- 期卷页: 2005年第4期 766-770页
- 日期: 2005
- ISBN: 1004-1699
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