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纳机电系统阻尼及噪声研究进展

chenwenkuipc 添加于 2012-2-8 15:41 | 1498 次阅读 | 0 个评论

作者
王平, 黄庆安, 于虹
摘要
在微机电系统 ( MEMS)领域 ,自 1 989年 Tang等人首次提出横向多晶硅谐振器结构以来 ,有关谐振器振动过程中阻尼问题的研究一直就是影响和推进谐振器发展的一个主要方面。近几年 ,随着器件尺寸的进一步缩小 ,器件尺寸进入亚微米级甚至是纳米级领域 ,阻尼及噪声问题更是成为影响器件工作特性的一个重要因素。本文就近几年微机电系统和纳机电系统中 ,相关 MEMS谐振器以及微悬臂梁的阻尼和噪声问题的研究 ,作了一些介绍和分析
详细资料
- 关键词: 微机电系统纳机电系统阻尼噪声品质因数Q 能量耗散
- 文献种类: Journal Article
- 期刊名称: 电子器件
- 期卷页: 2004年第3期 527-532页
- ISBN: 1005-9490
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